Меню: Главная :: К журналу :: switch to Russian :: switch to English
Вы здесь: Все журналы и выпуски→ Журнал→ Выпуск→ Статья

ИССЛЕДОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ НАНОКЛАСТЕРОВ В КАЧЕСТВЕ ЦЕНТРОВ ЗАХВАТА ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЭНЕРГОНЕЗАВИСИМОЙ ПАМЯТИ

Аннотация

С использованием методов внутренней фотоэмиссии, фотопроводимости, а также элипсометрии была проанализирована электронная структура кремниевых нанокластерных включений (с характерными размерами ~ 2-6 нм) в эпитаксиальные слои GdO, выращенные на кремниевой подложке (111). Обнаружено влияние включений на ширину запрещенной зоны эпитаксиально выращенных нанокластеров Si. Показано, что увеличение запрещенной зоны с уменьшением размеров нанокластеров вызвано смещением вверх дна зоны проводимости Si. Таким образом, кремниевые нанокластеры только относительно большого размера (> 5-6 нм) потенциально могут использоваться в качестве электронных центров хранения энергонезависимых носителей памяти. Кластеры кремния малых размеров не могут быть использованы в подобных целях, кроме тех случаев, когда в нанокластеры введены глубокие центры захвата (примеси, дефекты), но могут быть использованы в резонансных туннельных устройствах.

Ключевые слова

нанокристаллы, центры захвата электронов, модули памяти, тонкие пленки

Полный текст статьи

Скачать

УДК

539.12.043 : 539.211

Страницы

211-212

Список литературы

1. You H.C., Hsu T.H., Ko F.H., Huang J.W., Wang W.L., and Lei T.F. // IEEE Electron Device Lett. 2006. V. 27. P. 799. 2. Hsu T.H., You H.C., Ko F.H., and Lei T.F. // J. Electrochem. Soc. 2006. V. 153. P. G934. 3. Pan T.M. and Chen J.W. // Appl. Phys. Lett. 2008. V. 93. P. 183510. 4. Tan Y.N., Chim W.K., Cho B.J., and Choi W.K. // IEEE Trans. Electron Devices. 2004. V. 51. P. 1143. 5. Tiwari S., Rana F., Hanafi H., Hartstein A., Crabbe E.F., and Chan K. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 68. P. 1053. 6. Borany J. von, Heinig K.H., Grotzschel R., Klimenkov M., Strobel M., and Stegemann K.H., and Thees H.K. // Microelectron. Eng. 1999. V. 48. P. 231.

Название раздела в выпуске

Теоретическая и экспериментальная физика

Для корректной работы сайта используйте один из современных браузеров. Например, Firefox 55, Chrome 60 или более новые.