Меню: Главная :: К журналу :: switch to Russian :: switch to English
Вы здесь: Все журналы и выпуски→ Журнал→ Выпуск→ Статья

ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР AlN/Si

Аннотация

Методом динамического микро- и наноиндентирования исследованы механические свойства структур AlN/Si. Методом сканирующей электронной микроскопии проведен мониторинг отпечатков индентора глубиной от 100 нм до 3 мкм. Благодарности: Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (проект № 09-02-97541).

Ключевые слова

тонкие пленки; нитрид алюминия; микро- и наноиндентирование; сканирующая электронная микроскопия

Полный текст статьи

Скачать

УДК

539.12.043 : 539.211

Страницы

213-215

Список литературы

1. Nakamura S., Senoh M., Nagahama Sh., Iwasa N., Yamada T., Matsushita T., Kiyoku H., Sugimoto Y., Kozaki T., Umemoto H., Sano M., Chocho K. // Jpn. J. Appl. Phys. 1998. V. 37. Part 2. P. L309. 2. Miskys C.R., Garrido J.A., Nebel C.E., Hermann M., Ambacher O., Eickhoff M., Stutzmann M. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. P. 290. 3. Andrei A., Krupa K., Jozwik M., Delobelle P., Hirsinger L., Gorecki C., Nieradko L., Meunier C. // Sensors and Actuators A. 2008. V. 141. P. 565. 4. Головин Ю.И. // ФТТ. 2008. Т. 50. №. 12. С. 2113. 5. Badylevich M., Shamuilia S., Afanas'ev V.V., Stesmans A., Fedoren-ko Y.G., Zhao C. // J. Appl. Phys. 2008. V. 104. P. 093713.

Название раздела в выпуске

Теоретическая и экспериментальная физика

Для корректной работы сайта используйте один из современных браузеров. Например, Firefox 55, Chrome 60 или более новые.