Меню: Главная :: К журналу :: switch to Russian :: switch to English
Вы здесь: Все журналы и выпуски→ Журнал→ Выпуск→ Статья

ПОЛУЧЕНИЕ МИКРО- И НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ ДЛЯ ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ

Аннотация

Предложен способ получения пленок микро- и наноразмерной толщины методом взрывного испарения металлов пропусканием через них тока при разряде конденсатора. Оценено влияние электрических параметров конденсатора на структуру и толщину получаемой пленки.

Ключевые слова

испарение; пленки проводящих и магнитных материалов; оптоэлектронные устройства

Полный текст статьи

Скачать

УДК

621.762.214

Страницы

233-234

Список литературы

1. Суху Р. Металлические и магнитные тонкие пленки. М.: Мир, 1967. 422 с. 2. Байбородин Ю.В. Основы лазерной техники. К.: Выща шк. Головное изд-во, 1988. 383 с. 3. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: учебник для студентов специальности «Электронное машиностроение» / Н.В. Василенко, Е.Н. Ивашов, Л.К. Ковалев и др.; под ред. проф. Л.К. Ковалева, Н.В. Василенко: в 2 т. Красноярск: Кн. изд-во Сиб. аэрокосм. акад., 1995. Т. 1. 256 с. 4. Технологическая операция электролитического осаждения меди: метод. разработка к лаб. работам по курсу «Модели технологических процессов» для студентов спец. 210104 / НГТУ; сост. А.В. Панкратов. Н. Новгород, 2005. 11 с. 5. Ильин А.П., Назаренко О.Б., Тихонов Д.В., Яблуновский Г.В. Получение нанопорошков вольфрама методом электрического взрыва проводников // Изв. Том. политехн. ун-та. 2005. Т. 308. № 4. С. 68-70.

Название раздела в выпуске

Общая физика

Для корректной работы сайта используйте один из современных браузеров. Например, Firefox 55, Chrome 60 или более новые.